技術(shù)參數(shù)：
離子源
離子槍：兩個具有低能聚焦特性的潘寧離子槍
減薄角度：+10° 到 -10°, 每個離子槍均可獨(dú)立調(diào)節(jié)
離子束能量：100 V 到 8.0 kV
離子束流密度：10m A/cm2 峰值
離子束對中：利用熒光屏精確對中
離子束直徑：可由氣流控制器或放電電壓來調(diào)節(jié)
樣品臺
樣品大?。? mm 或 2.3 mm
樣品旋轉(zhuǎn)：1 到 6 rpm 連續(xù)可調(diào)
束流調(diào)制：扇形范圍可調(diào)的單束調(diào)制或雙束調(diào)制
X, Y 平移：在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm
真空系統(tǒng)
干泵系統(tǒng)：兩級隔膜泵支持 80 升/秒的渦輪分子泵
壓力：5×10-6 托基本壓力，8×10-5 托工作壓力
真空規(guī)：冷陰極型，用于主樣品室：固體型，用于前級機(jī)械泵
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