真空冷凍干燥機主要由制冷系統和真空系統兩部分組成，被加，物品置于低溫的真空環境中，其沖的水分被凍結成冰，冰在極低的壓力下升華為水蒸氣，由真空泵抽出，從而使被加工物品干燥。制冷系統和真空系統只要有一個出現問題，就不能進行加工。因此對冷凍干燥機的日常維護保養是相當重要的工作。一旦機組出現故障，應能迅速排除，以保證生產的正常進行。
一、制冷系統的維護
冷凍干燥機的制冷系統主要由壓縮機、膨脹閥、水冷式冷凝器、蒸發器、油分離器、氣液分離器、電磁閥、手閥、壓力表、壓力控制器、干燥過濾器等部分組成。
日常維護的主要內容有以下幾點：
1）每日的例行檢查。檢查內容主要有：
①所有應開的閥門是否打開。
②壓縮機的壓力是否在正常范圍內。
③冷卻水的壓力和溫度是否正常。
④壓縮機回油及油位是否正常。
⑤壓縮機運行聲音是否正常。
⑥制冷管路是否產生異常振動。
⑦壓縮機和膨脹閥結霜情況等。
檢查中發現有異常情況，應找出原因，及時處理，消除事故隱患。
2）長期不使用設舒時應將制冷劑收入冷凝器內防止制冷劑泄漏，在生產過程中要經常對制冷系統進行檢漏，保證發現漏點及時處理，如制冷劑不足，應及時充注，以免影響設備的正常運行。
二、真空系統的維護
真空系統主要由真空泵、前箱、后箱、箱體上的閥門、蘑菇閥、小蝶閥、真空硅管等部分組成。
1）定期更換真空泵油，以保證真空泵的性能。
2）真空泵起動前應檢查油位是否正常（應在視油鏡1/2左右的位置）。
3）對箱體抽真空前一定要保證后箱干燥，避免將水汽抽人泵體，影響真空泵的抽氣效率
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